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新宇宙New cosmos XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀可檢測(cè)微量的半導(dǎo)體材料氣體泄漏,可對(duì)半導(dǎo)體工廠等使用毒性氣體的場(chǎng)所進(jìn)行泄漏檢測(cè),也可對(duì)氫氣相關(guān)設(shè)備提供安全保障。
小型輕量,可以檢查非常微量的氣體泄漏
適合氫氣相關(guān)設(shè)備的安全防護(hù)
搭載的泵有自動(dòng)停止功能
搭載[自動(dòng)氣體排氣模式]功能
保護(hù)等級(jí)約為IP22(JIS C 0920)。
產(chǎn)品用途:半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等;在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)。
型號(hào):XP-703DⅢ
檢測(cè)對(duì)象氣體:半導(dǎo)體材料氣體(砷烷、磷化氫、乙硼烷、硅烷、氫氣)
檢測(cè)原理:熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式:自動(dòng)吸引式
砷烷AsH?
可檢測(cè)泄漏量[Pa·m3/s]:2.53x10??
可檢測(cè)濃度[μmol/mol]:0.5
磷化氫PH?
可檢測(cè)泄漏量[Pa·m3/s]:1.52x10??
可檢測(cè)濃度[μmol/mol]:0.3
乙硼烷B?H?
可檢測(cè)泄漏量[Pa·m3/s]:1.01x10??
可檢測(cè)濃度[μmol/mol]:0.2
硅烷SiH?
可檢測(cè)泄漏量[Pa·m3/s]:2.53x10??
可檢測(cè)濃度[μmol/mol]:0.5
氫氣H?
可檢測(cè)泄漏量[Pa·m3/s]:5.07x10??
可檢測(cè)濃度[μmol/mol]:0.1
反應(yīng)時(shí)間:10秒以內(nèi)(探測(cè)的氣體為可檢測(cè)濃度的3倍時(shí),靈敏度設(shè)定為[4])
報(bào)警方式:發(fā)出斷斷續(xù)續(xù)的聲音及報(bào)警燈閃爍
電源:5號(hào)堿性干電池(LR6)2節(jié)
連續(xù)使用時(shí)間:約12小時(shí)(5號(hào)堿性干電池)[在常溫·常濕條件下]
保護(hù)等級(jí):IP22 相當(dāng)
使用壓力范圍:大氣壓(800~1100hpa)
使用溫濕度范圍:0C~40℃、85%RH以下(無結(jié)露現(xiàn)象)
外形尺寸:W38xH130xD32mm(突出部分除外)
重量:約190g(包含電池、皮套)
標(biāo)配附件:皮套、引導(dǎo)管過濾片、替換用過濾芯、導(dǎo)氣管、點(diǎn)檢氣體、手提掛繩、5號(hào)堿性干電池2節(jié)等
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